| 測量原理
非接觸式技術光波干涉法，與一已知平面（參考平面）比較法測量。
測量方法
采用等傾干涉法。在等傾干涉儀中用210mm長平晶與200mm的研磨面平尺整段比較測量或與330mm的硬座面平尺分段比較測量，得到的測量值修正長平晶工作面平面度后，按小條件計算得到研磨面平尺工作面的平面度。
測量程序
1. 用平面等傾干涉儀（裝置）測量研磨面平尺平面度。
2. 210mm長平晶做標準器。
3. 等傾干涉儀做比較使用
4. 兩個1mm量塊研合在長平晶兩端做支撐用
5. 研磨面平尺放置在檢定室內溫度平衡時間不少于10h
6. 長平晶與研磨面平尺放置在食品內的溫度平衡時間，對于200mm研磨面平尺和210mm長平晶不少于1h，對于330mm研磨面平尺和210mm長平晶不少1.5h。
測量條件
1.平面等傾干涉儀（裝置）經檢定符合JJG661-2004《平面等傾干涉儀檢定規(guī)程》要求。
2.210mm長平晶的規(guī)程符合JJG28-2000《平晶檢定規(guī)程》要求。
3.210mm長平晶工作面平面度符合JJG28-2000《平晶檢定規(guī)程》要求，且具有修正自重變形影響后平面度數據證書。
4.經檢定兩塊1mm量塊的尺寸差小于0.1um。
5.檢定室溫度：（20±5）度，溫度變化不得超過0.1C/H 和1C/24H
6.檢定室內的溫度與食品保溫箱內的溫度之關小于0.2度。
7.測溫儀的分辨力：0.01度。
8.長平晶的制造材料費是k9光學玻璃，研磨面平尺是鋼制的。
9.操作人員是經過培訓的，且熟悉平面等傾干涉儀（裝置）的使用。 |
